全自動傳片機
全自動傳片機是針對晶圓的全自動倒片、理片機；可從一個Wafer Cassette傳遞到另外一個Wafer Cassette，通過參數設定可實現Up Ranking、down Ranking及自定義方式傳遞，采用X、Y、Z 三軸機械走位及陶瓷手柄實現高精度定位，確保產品在傳遞過程的安全。設備可適用12寸8寸晶圓及各種標準料盒，也可訂制非標料盒，設備采用工控機控制，15寸觸摸操作人機界面，操作簡易方便。
產品詳情
技術參數:
產品特點:
陶瓷Robot取放產品；
X,Y,Z三軸機械手精準定位；
支持各種半導體標準Wafer Cassette，自動Mapping掃描；
工控機控制，運行穩定；
15寸觸摸屏顯示操作，方便簡潔；
參數可自由設定調用；
傳片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定義模式；
固定式或手柄式Bar Code Reader讀取料盒條形碼；
可配置去離子裝置；
可訂制Sec Gem功能；
Uph>100片/小時（不含定位功能）。
注：圖文數據均以廠家提供為準。
